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李国光

作品数：6 被引量：13H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项中国科学院科研装备研制项目更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
北京智朗芯光科技有限公司
研究主题：晶片 垂直入射 光谱仪 基底 半导体材料
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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