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谢灿

作品数：4 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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