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胡晓宇
作品数:
39
被引量:53
H指数:4
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家科技重大专项
中国科学院知识创新工程
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
天文地球
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合作作者
陈铖颖
中国科学院微电子研究所
黑勇
中国科学院微电子研究所
周玉梅
中国科学院微电子研究所
范军
中国科学院微电子研究所
戴澜
北方工业大学信息工程学院
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相关作者
所获基金
研究领域
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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