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陈波

作品数：64 被引量：24H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程重要方向项目中国科学院科研装备研制项目更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学化学工程更多>>

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领域

  • 13个理学
  • 12个电子电信
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主题

  • 12个原子层沉积
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  • 10个等离子体浸没...
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作者

  • 13个李超波
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  • 13个陈波
  • 12个万军
  • 11个刘邦武
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  • 6个李勇
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  • 6个唐立丹
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  • 3个张晓华
  • 3个张晓华

传媒

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  • 5个地球学报
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  • 5个现代化工
  • 5个城市发展研究
共 13 条 记 录，以下是 1-10
国家自然科学基金
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
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国家自然科学基金(60727003)
相关领域：电子电信 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
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国家自然科学基金(61106060)
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国家高技术研究发展计划
相关领域：自动化与计算机技术 农业科学 电子电信 医药卫生 理学
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国家科技重大专项(2009ZX02037)
相关领域：电子电信 一般工业技术 理学 自动化与计算机技术 电气工程
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中国科学院科研装备研制项目
相关领域：理学 机械工程 电子电信 自动化与计算机技术 天文地球
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中国科学院知识创新工程重要方向项目(Y2YF028001)
相关领域：理学 电子电信 一般工业技术
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
中国博士后科学基金
相关领域：经济管理 医药卫生 自动化与计算机技术 理学 农业科学
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
中国博士后科学基金(2011M500996)
相关领域：理学 一般工业技术
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
中国科学院科研装备研制项目(YZ200755)
相关领域：电子电信 理学
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