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张杰

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇射频
  • 1篇转动温度
  • 1篇不均匀性
  • 1篇N

机构

  • 1篇大连理工大学
  • 1篇苏州大学

作者

  • 1篇陆文琪
  • 1篇张杰

传媒

  • 1篇苏州大学学报...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
40.68MHz激发的N_2容性耦合等离子体径向不均匀性研究
2011年
通过使用扫描发射光谱仪和朗缪尔双探针的测量方法研究了40.68MHz的射频驱动的N2容性耦合等离子体的不均匀性。发现在高气压和高输入功率的条件下,容性放电中的中心峰值是由驻波效应造成的,而在靠近径向边缘的峰值是由感应电场造成的,这些引起了发射光谱在电极表面超过20%的不均匀性。然而,N2容性放电的振-转动温度展示了低于10%的不均匀性,这可能是由有较大的径向弛豫时间的和高密度的亚稳态粒子的主导碰撞造成的.
张杰徐海朋陆文琪辛煜
关键词：不均匀性射频
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