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王辉

作品数:3 被引量:4H指数:1
供职机构:大连理工大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金:教育部科学技术研究重点项目更多>>
相关领域:一般工业技术理学化学工程更多>>

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇化学工程
  • 1篇理学

主题

  • 2篇等离子体刻蚀
  • 2篇氧化铝
  • 2篇平面光波导
  • 2篇微米
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇刻蚀
  • 2篇光波
  • 2篇反应离子
  • 2篇反应离子刻蚀
  • 2篇波导
  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶法
  • 1篇共掺
  • 1篇共掺杂
  • 1篇光致
  • 1篇光致发光
  • 1篇发光
  • 1篇AL
  • 1篇AL2O3薄...
  • 1篇掺ER

机构

  • 3篇大连理工大学

作者

  • 3篇雷明凯
  • 3篇王辉
  • 2篇朱振华
  • 2篇王兴军

传媒

  • 1篇无机材料学报

年份

  • 1篇2006
  • 2篇2005
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
微米宽度的反应离子刻蚀氧化铝薄膜研究
Er3+掺杂Al2O3/SiO2/Si光波导薄膜采用热氧化法在Si(100)表面制备SiO2,溶胶一凝胶法提拉制备Er3+掺杂 Al2O3。利用复合的射频等离子体刻蚀技术,以BCl3为工作气体,在工作气压1-10 Pa下...
雷明凯王辉朱振华王兴军
关键词:等离子体刻蚀AL2O3薄膜平面光波导
微米宽度的反应离子刻蚀氧化铝薄膜研究
Er3+掺杂Al2O3/SiO2/Si光波导薄膜采用热氧化法在Si(100)表面制备SiO2,溶胶-凝胶法提拉制备Er3+掺杂Al2O3。利用复合的射频等离子体刻蚀技术,以BCl3为工作气体,在工作气压1-10 Pa下,...
雷明凯王辉朱振华王兴军
关键词:等离子体刻蚀平面光波导
文献传递
Y^(3+)共掺杂对掺Er^(3+):Al_2O_3粉末光致发光的增强作用被引量:4
2006年
采用非水性溶胶-凝胶法制备了Y3+共掺杂的掺Er3+:Al2O3粉末,Er3+浓度为0.1和1.0mol%,Er3+和Y3+浓度比为1:0-10.X射线衍射和光致发光(PL)光谱结果表明: 900℃烧结的掺0.1和1.0mol%Er3+:Al2O3粉末为具有非晶化特征的γ和θ混合相结构,非晶化趋势随Y3+共掺杂浓度增大而增加.掺0.1mol%Er3+:Al2O3粉末,PL光谱强度和半高宽随掺Y3+浓度增大无明显变化.掺1.0mol%Er3+:Al2O3粉末,PL光谱强度和半高宽随掺Y3+浓度增大而增加,10mol%Y3+共掺杂粉末的发光强度提高50倍,约为掺0.1mol%Er3+:Al2O3粉末的10倍,半高宽从77nm增至92nm.Y3+共掺杂对较高浓度掺Er3+:Al2O3粉末PL性能的增强作用归因于Y3+对Er3+在基体中的分散和配位结构多样性的提高.
王辉雷明凯
关键词:掺ER^3+溶胶-凝胶法光致发光
共1页<1>
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