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李力
作品数:
4
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中冶宝钢技术服务有限公司
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发文基金:
陕西省教育厅科研计划项目
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相关领域:
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合作作者
曹春光
中冶宝钢技术服务有限公司
汪海龙
中冶宝钢技术服务有限公司
苏剑
中冶宝钢技术服务有限公司
张健
中冶宝钢技术服务有限公司
金强
中冶宝钢技术服务有限公司
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西安交通大学
作者
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李力
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曹春光
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韩甲兴
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武传金
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2015
1篇
2014
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基于硅硅低温直接键合的MEMS打印喷头制作工艺
被引量:2
2019年
针对一种MEMS压电式集成打印喷头复杂腔室结构的加工,提出了一套基于ICP刻蚀结合硅硅低温直接键合的制作工艺。首先通过ICP体硅干法刻蚀工艺分别制作了打印喷头的上下腔室结构,然后将带有上下腔室结构的两硅片进行低温直接键合,形成完整的打印喷头腔室。通过对打印喷头上下腔室结构的键合实验研究,进一步探索并验证了硅硅低温直接键合的机理,重点研究了不同活化方法和退火时间对复杂腔室结构键合质量的影响,优化了低温直接键合工艺,为带有复杂三维结构的MEMS器件的制作奠定了工艺基础。测试结果表明,制作完成的MEMS打印喷头具有较高的键合强度,且其腔室流道的完整性和密封性良好。
翟彦昭
蔡安江
张栋鹏
韩超
李力
关键词:
MEMS
硅
活化
打印喷头
生态型钢渣透水混凝土及其制品综合利用技术
杨刚
金强
贺鸿珠
张健
李力
曹春光
吴永津
娄芝凤
王幼琴
武传金
汪海龙
韩甲兴
刘国威
苏剑
韩懿
该项目属于工业固体废弃物的资源综合利用技术。炼钢产生的钢渣固体废弃物的利用问题成为钢铁企业发展的瓶颈问题,而现代城市的地表多被不透水的路面所覆盖,缺乏呼吸性、吸收热量和渗透雨水的能力,带来城市内涝、热岛效应等环境问题。该...
关键词:
高纯渣铁表面除渣设备和工艺
本发明公开了一种高纯渣铁表面除渣设备和工艺,包括浸泡池和超声波发生仪,所述超声波发生仪安装在浸泡池的液面以下并与外面的控制器相连接。将高纯渣铁浸泡在浸泡池中,然后打开超声波发生仪,产生高幅振荡,冲击高纯渣铁表面,使黏附在...
李力
曹春光
冯浩川
吴守仓
洪元军
文献传递
高强高透水钢渣混凝土及其制品关键技术研发与应用
杨刚
金强
武传金
张健
李力
曹春光
贺鸿珠
郁汉英
王幼琴
刘国威
苏剑
汪海龙
韩甲兴
韩懿
项目背景:钢渣是炼钢产生的大宗固体废弃物,全国每年产生量超过7千万吨,多数钢厂的钢渣依然没有良好的利用途径,既占用宝贵土地,又造成严重的环境污染。现代城市的地表多被钢筋混凝土的房屋建筑和不透水的路面所覆盖。与自然的土壤相...
关键词:
关键词:
固体废弃物利用
钢渣混凝土
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