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张浩然

作品数：33 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 31篇专利
  • 2篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 23篇石墨
  • 23篇石墨烯
  • 10篇衬底
  • 7篇金属
  • 7篇光学显微镜
  • 6篇气相沉积
  • 6篇化学气相
  • 6篇化学气相沉积
  • 5篇纳米
  • 5篇CVD
  • 4篇铜表面
  • 3篇电学性能
  • 3篇多晶
  • 3篇清洗工艺
  • 3篇褶皱
  • 3篇微电子
  • 3篇显微镜
  • 3篇纳米级
  • 3篇洁净度
  • 3篇抗氧化

机构

  • 33篇中国科学院

作者

  • 33篇张浩然
  • 32篇于广辉
  • 32篇陈志蓥
  • 32篇张燕辉
  • 20篇隋妍萍
  • 11篇王彬
  • 10篇李晓良
  • 9篇王斌
  • 9篇葛晓明
  • 4篇朱博
  • 3篇徐伟
  • 1篇吴渊文

传媒

  • 1篇第十届全国分...
  • 1篇第二届海峡两...

年份

  • 1篇2023
  • 3篇2019
  • 1篇2018
  • 5篇2017
  • 4篇2016
  • 7篇2015
  • 7篇2014
  • 5篇2013
共 33 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于氧化亚铜薄膜衬底低成核密度石墨烯单晶的制备方法
本发明涉及基于氧化亚铜薄膜衬底低成核密度石墨烯单晶的制备方法，其特征在于通过氧化亚铜薄膜衬底，直接制备出低成核密度石墨烯单晶，具体制备步骤包括：(1)氧化亚铜薄膜的制备；(2)低密度石墨烯单晶制备。本发明提出了新的制备工...
张浩然于广辉张燕辉张亚欠陈志蓥隋妍萍
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一种利用石墨烯判定铜衬底表面晶向的方法
本发明提供一种利用石墨烯判定铜衬底表面晶向的方法，至少包括以下步骤：1）提供一长有化学气相沉积（CVD）石墨烯的铜衬底，所述石墨烯中具有皱褶区域；2）将长有石墨烯的铜衬底置于氧化气氛中进行氧化，皱褶区域下方的铜衬底会被优...
张燕辉于广辉陈志蓥王斌隋妍萍张浩然张亚欠李晓良
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直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面褶皱分布的方法
本发明涉及一种直观显示金属衬底上CVD石墨烯表面褶皱分布的方法，包括：将未转移的CVD石墨烯连同金属衬底一起放入密闭腔体中，抽真空后通入惰性气体，然后加热，再通入与石墨烯反应的气体，待反应结束后停止加热，停止通入反应气体...
张燕辉于广辉陈志蓥王彬张浩然
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一种通过无损掺杂提高石墨烯迁移率的方法
本发明涉及一种通过无损掺杂提高石墨烯迁移率的方法，包括：配制水合肼溶液，然后将石墨烯样品放入水合肼溶液中1min-12h，取出后吹干，得到无损掺杂石墨烯。本发明重复性高、简单易行，可以大批量修饰石墨烯薄膜，而且对石墨烯薄...
陈志蓥于广辉张燕辉隋妍萍王斌张浩然张亚欠李晓良
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一种CVD石墨烯薄膜区域择优选取的方法
本发明提供一种化学气相沉积法（CVD）石墨烯薄膜区域择优选取的方法，包括以下步骤：1）提供一长有CVD石墨烯的金属衬底；2）将长有石墨烯的生长衬底置于反应腔中，并于保护气体气氛中将所述生长衬底加热至预设温度；3）通入反应...
张燕辉于广辉陈志蓥王斌隋妍萍张浩然张亚欠李晓良
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便于观察金属衬底上化学气相沉积石墨烯表面褶皱分布的方法
本发明涉及一种便于观察金属衬底上CVD石墨烯表面褶皱分布的方法，包括：将长有石墨烯的金属衬底置于氧化性气氛中，以氧化石墨烯褶皱处的金属；然后将氧化后的金属衬底置于光学显微镜下观察，纳米级褶皱分布情况在光学显微镜下清晰显现...
张燕辉于广辉陈志蓥王彬张浩然
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分子束外延法石墨烯制备与表征
分子束外延是制备高质量二维材料常用的方法，但是目前用MBE法制备石墨烯的报道还非常少。Fumihiko Maeda等曾尝试用气态MBE在绝缘衬底上直接生长石墨烯，由于没有金属催化，质量比较差。其实利用MBE系统衬底温度与...
张燕辉陈志蓥张浩然于广辉
关键词：石墨烯性能表征分子束外延法
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一种基于石墨烯的表面增强拉曼基底及其制备方法
本发明涉及一种基于石墨烯的表面增强拉曼基底及其制备方法，所述基底为表面覆有多孔结构石墨烯的绝缘衬底，金属颗粒修饰于多孔结构石墨烯表面。制备方法包括：(1)制备表面覆有多孔结构石墨烯的绝缘衬底；(2)将金属颗粒分散覆盖于多...
隋妍萍于广辉张燕辉陈志蓥葛晓明张浩然
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一种干法转移金属衬底上石墨烯的方法
本发明提供一种干法转移金属衬底上石墨烯的方法，包括：1）将长有石墨烯的金属衬底置于目标衬底上，并将所述石墨烯面朝目标衬底；2）将放置好的长有石墨烯的金属衬底和目标衬底放入反应器中，在保护气氛下，升温至金属衬底熔化温度或以...
张燕辉于广辉葛晓明张浩然陈志蓥隋妍萍邓荣轩
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一种柔性导热垫片的制备方法
本发明涉及一种柔性导热垫片的制备方法，包括以下步骤：提供一泡沫金属；提供一导热材料；将所述导热材料填入该泡沫金属中，形成导热垫片。本发明将导热性能较好并且尺寸合适的材料填入泡沫金属的空隙当中，得到的导热垫片与处理前的泡沫...
张燕辉于广辉陈志蓥王彬张浩然
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