周祥燕
- 作品数：2 被引量：5H指数：2
- 供职机构：长春理工大学理学院更多>>
- 发文基金：吉林省科技发展计划基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程更多>>
- 基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析被引量：4
- 2017年
- 掠入射X射线反射(GIXR)由于检测精度高且对检测薄膜的无损伤而被广泛用于薄膜检测和高精度表征。GIXR是一种基于数值拟合的间接检测方法,因此在薄膜微观结构的求解,特别是复杂多层膜膜系的求解过程中对数值优化算法的要求较高。为此提出了基于量子衍生遗传算法(QIGA)的薄膜GIXR拟合求解方法,并基于QIGA对Si单层膜和等周期Mo/Si多层膜的GIXR分别进行拟合求解。结果表明,该方法具有求解速度快、拟合精度高的明显优势,说明QIGA在光学薄膜表征方面有潜在的应用价值。
- 周祥燕张超匡尚奇龚学鹏杨海贵
- 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用被引量：4
- 2017年
- 为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA)。对比分析了基于IQEA和QEA的宽带Mo/Si多层膜的膜系设计过程和结果,结果表明,基于IQEA的多层膜膜系设计理论方法具有更优越的求解效率和精度;同时,IQEA同样可以小种群规模进行多参数优化。基于IQEA的宽带Mo/Si多层膜的设计理论实现了包括入射角为0°~18°,反射率达50%的宽角度多层膜,以及反射光谱带宽为13~15nm,反射率达25%的宽光谱多层膜的设计。基于IQEA的宽带高反射率EUV多层膜的理论膜系设计方法为复杂多层膜的理论设计提供了一种可供选择的高效膜系设计方法。
- 匡尚奇张超王一名周祥燕谢耀
- 关键词：薄膜光学
