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韩英军

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:中科院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域:电子电信理学更多>>

文献类型

  • 2篇国内会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇射线衍射
  • 2篇特性分析
  • 2篇晶格
  • 2篇分子束
  • 2篇分子束外延
  • 2篇X射线衍射
  • 2篇超晶格
  • 1篇INGAAS...
  • 1篇INGAAS

机构

  • 2篇中科院上海微...

作者

  • 2篇曹俊诚
  • 2篇尹嵘
  • 2篇韩英军

传媒

  • 1篇第10届全国...

年份

  • 2篇2012
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
GD12-006低温InGaAs/InAIAs超晶格的生长及特性分析
InGaAs是一种制作THz光电导天线的重要半导体材料.利用气态分子束外延技术在低温下生长了InGaAs材料,通过高分辨×射线衍射技术研究了不同生长温度和砷烷压力对外延层质量的影响,优化了分子束外延生长工艺.同时在InG...
尹嵘万文坚韩英军曹俊诚
关键词:超晶格分子束外延X射线衍射
文献传递
低温InGaAs/InAlAs超晶格的生长及特性分析
InGaAs是一种制作THz光电导天线的重要半导体材料。利用气态分子束外延技术在低温下生长了InGaAs材料,通过高分辨X射线衍射技术研究了不同生长温度和砷烷压力对外延层质量的影响,优化了分子束外延生长工艺。同时在InG...
尹嵘万文坚韩英军曹俊诚
关键词:INGAAS/INALAS超晶格分子束外延X射线衍射
文献传递
共1页<1>
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