汪道明
- 作品数：5 被引量：10H指数：1
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- 相关领域：化学工程电子电信建筑科学更多>>
- 一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用
- 通过对新型超净高纯试剂同常规CMOS酸碱试剂同时进行CMOS工艺中栅氧化前的清洗实验,从清洗后硅片残留金属量的电感耦合高频等离子体原子发射光谱分析、硅片表面形貌的AFM分析、MOS电容测量三个方面进行了应用实验,结果表明...
- 郑学根邱晓生汪道明
- 关键词：高纯试剂半导体
- 文献传递
- 一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用
- 通过对新型超净高纯试剂同常规CMOS酸碱试剂同时进行CMOS工艺中栅氧化前的清洗实验,从清洗后硅片残留金属量的电感耦合高频等离子体原子发射光谱分析、硅片表面形貌的AFM分析、MOS电容测量三个方面进行了应用实验,结果表明...
- 郑学根邱晓生汪道明
- 关键词：高纯试剂半导体
- 用催化裂解轻油研制混凝土高效减水剂
- 2004年
- 催化裂解轻油(DCC轻油)由于芳烃含量高,不能直接作为成品柴油,以其作为原料在实验室研制混凝土高效减水剂,取得较好结果,且所采用的工艺简单,原料利用率高。性能测试结果表明,研制的高效减水剂小试样品符合国家标准一级品要求。该项研究已获国家发明专利。
- 郑学根汪道明汪扣保
- 关键词：高效减水剂
- 陶瓷烧成新型气化燃料及其燃烧技术
- 刘少兵简喜辉汪道明张树林胡贵舟邓苹产圣彭洁陈俊杰权衡李辉李文玲陈国强郑娟
- 该项目研制了专门的气化装置，并对C5、C6轻烃组成进行设计调整，加入5-10%的小于C4轻烃，使之具有一定的蒸气压，可以自压输送，不需用泵送。所研制的轻烃气化燃料具有低硫、高热值的特点。用户可以节约燃料费12%(与使用液...
- 关键词：
- 关键词：陶瓷气化装置燃烧技术
- 一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用被引量：10
- 2005年
- 通过对新型超净高纯试剂同常规CMOS酸碱试剂同时进行CMOS工艺中栅氧化前的清洗实验,从清洗后硅片残留金属量的电感耦合高频等离子体原子发射光谱分析、硅片表面形貌的AFM分析和MOS电容测量三个方面进行了应用实验。结果表明,以超净高纯乙腈为主要组分的新型试剂,其清洗效果总体优于常规CMOS酸碱试剂,可以考虑在半导体器件相应清洗工艺中采用。
- 郑学根邱晓生汪道明
- 关键词：高纯试剂半导体清洗工艺
