武俊生
- 作品数：25 被引量：7H指数：1
- 供职机构：辽宁科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程理学金属学及工艺更多>>
- 磁控溅射中等离子体电离机制的数值解析被引量：1
- 2017年
- 以圆柱形磁控溅射装置为研究对象,下极板外接通电线圈使之产生的磁场,并在上、下极板间施加直流电场,研究电磁场作用下等离子体中电子、离子、中性粒子和亚稳态离子分布。研究以Fortran语言自主编程,对所建立的模型用有限差分方法数值模拟。研究表明:辉光放电起始,电离项为等离子体中离子的主要来源;随着辉光放电趋于平衡,由一次电离、激发态二次电离等组成的累积电离项成为等离子体中离子的主体。达到稳定电离后,电子受磁场约束集中分布于下极板附近,从而使被电离的离子也集中分布于下极板附近。在距下极板15~40 cm区间内,离子分布较均匀。
- 王晓明高健波武俊生郭媛媛周艳文
- 关键词：等离子体磁控溅射数值模拟
- 一种不锈钢基燃料电池双极板表面复合涂层及其制备方法
- 本发明要解决的技术问题是克服现有不锈钢极板表面涂层改性技术的不足，提供了一种不锈钢基燃料电池双极板表面复合涂层及其制备方法。本发明采用的镀膜方法是高功率复合热丝增强等离子体磁控溅射技术；所镀膜层有三层，分别为打底层，梯度...
- 周艳文徐帅赵卓王英涵杜峰方方余晓东武俊生张开策
- 文献传递
- 一种利用低温等离子体的金属表面发蓝方法
- 本发明的目的在于克服现有技术中发蓝工艺的缺陷，提供一种利用低温等离子体的金属表面发蓝方法，属于金属材料表面处理技术领域。该方法利用真空装备在一定气压下施加电场，使惰性气体和H<Sub>2</Sub>O分子发生辉光放电并离...
- 赵卓赵志伟周艳文佟欣儒武俊生陈雪娇腾越张鑫张豫坤方方
- 文献传递
- 基于等离子体在磁控溅射增强的模拟被引量：1
- 2020年
- 磁控溅射为代表的真空法已经成为制备薄膜的主流方法,磁场分布、等离子体密度分布及其温度等因素会直接影响到薄膜的质量。因此,选择合适的模型研究磁控溅射过程中气体放电时等离子体粒子以及电子分布非常重要。本文根据气体放电的基本原理,对圆柱形溅射装置采用流体模型,以电子、离子、亚稳态离子和中性粒子为主要粒子的等离子体建立物理模型,采用有限差分方法对所建立的模型,利用计算机编程数值模拟了直流溅射系统内气体放电的过程得到等离子体粒子的分布以及电子温度分布特性的模拟结果。
- 王晓明鄂东梅武俊生张绪跃周艳文
- 关键词：等离子体磁控溅射离子分布
- 一种提高喷号机喷针表面耐磨性的方法
- 本发明涉及一种提高喷号机喷针表面耐磨性的方法，在真空腔体四周1～4个靶座上安装镀膜所需的铬、钛、铝、硅靶材；清洗喷针：依次经碱洗、工业清洗剂超声波清洗、酒精清洗；镀膜前真空清洗：将喷针固定在真空腔体内自转架上，预抽真空，...
- 赵卓周艳文张开策陈雪娇郭媛媛吕哲武俊生李彤张晶杨永杰张豫坤方方
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- 一种制备全无机钙钛矿太阳能电池的磁控溅射方法
- 本发明涉及一种制备全无机钙钛矿太阳能电池的磁控溅射方法，包括以下步骤：对衬底进行预处理；在预处理的衬底表面磁控溅射电子传输层，之后继续采用磁控溅射设备使用铯锡合金靶，获得全无机钙钛矿材料；在钙钛矿材料层上磁控溅射太阳能电...
- 周艳文武俊生李彤陈雪娇赵卓方方滕越张开策李瑞武
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- 一种基于柔性衬底的P-I-N结太阳能电池及制备方法
- 本发明涉及一种基于柔性衬底的P‑I‑N结太阳能电池，依次由柔性衬底、超薄复合电极AZO/Ag/AZO、掺杂F的钙钛矿CsSnX<Sub>3</Sub>薄膜、氧化的钙钛矿CsSnX<Sub>3</Sub>、铜铟镓硒吸收层、...
- 周艳文武俊生李彤吕哲吴法宇方方滕越李瑞武张开策
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- 一种新型电池组绝缘隔板结构
- 一种新型电池组绝缘隔板结构属于绝缘隔板技术领域，尤其涉及一种新型电池组绝缘隔板结构。本发明提供一种组装方便的新型电池组绝缘隔板结构。本发明包括水平上绝缘隔板和上端开通的外围绝缘隔框，其结构要点上绝缘隔板设置在外围绝缘隔框...
- 赵卓周艳文佟欣儒武俊生
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- 一种带导线的细长直管内壁清洗装置
- 本实用新型的目的是针对于现有细长直管清理技术比较少的问题，提供了一种带导线的细长直管内壁清洗装置。本实用新型的带导线的细长直管内壁清洗装置，包括绝缘保护罩，下部支架，杂屑存储单元，管道上端密封连接组件，导线，轨道支架和电...
- 赵卓张文武俊生张开策周艳文李灵敏徐帅粟志伟
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- 一种应用于磁控溅射的新型工件转架装置
- 本发明涉及一种用于磁控溅射的转架装置，包括由侧壁、顶板和底板组成的反应腔体，设置在反应腔体内的工作托盘、主轴和工作托盘运动机构，其特征在于在所述的反应腔体内设有基台，其基台将反应腔体分成上腔体和下腔体，所述的工作托盘设置...
- 周艳文佟欣儒赵卓武俊生陈雪娇赵志伟张鑫方方张豫坤
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