杨祥
- 作品数：13 被引量：9H指数：2
- 供职机构：上海大学更多>>
- 发文基金：上海市科学技术委员会科研基金国家自然科学基金上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信理学一般工业技术更多>>
- 一种靶材的制备方法
- 本发明提供了一种靶材的制备方法，其步骤包括依次制备粉末氧化物、球磨料、坯料、靶材坯体、靶材成品；其中靶材原料通过冷等静压成形得到靶材坯体，将靶材坯体放在氧气和空气的混合气氛下进行阶段升温烧结，烧结时混合气氛中的氮气和氧气...
- 李喜峰杨祥姜姝潘成超蒋文亚李阿杰谈艳阳
- 文献传递
- 烧结气氛压力对高性能TFT用ITO靶材结瘤性能的研究被引量：2
- 2018年
- 通过在烧结过程中调节气氛气压改变烧结压力来制备高性能ITO靶材,采用磁控溅射生长ITO薄膜,采用X射线衍射(XRD)、紫外-可见分光光度计、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜等对ITO薄膜进行表征并对靶材表面进行观察。结果表明烧结压力略高于标准大气压(0.105 MPa)工艺条件下制备的ITO靶材表面的结瘤更少。磁控溅射制备的薄膜均处于非晶状态,薄膜的表面粗糙度由0.35nm降低至0.28nm,薄膜的平均光学透过率均高于84%。改善工艺后的ITO靶材制备的ITO薄膜刻蚀残留非常少。在优化的工艺条件下,靶材质量得到有效改善,透明导电氧化物薄膜性能得到提高。
- 黄誓成杨祥陆映东姜姝李喜峰张雪凤杜海柱
- 关键词：ITO靶材ITO薄膜
- 一种靶材的制备方法
- 本发明提供了一种靶材的制备方法，其步骤包括依次制备粉末氧化物、球磨料、坯料、靶材坯体、靶材成品；其中靶材原料通过冷等静压成形得到靶材坯体，将靶材坯体放在氧气和空气的混合气氛下进行阶段升温烧结，烧结时混合气氛中的氮气和氧气...
- 李喜峰杨祥姜姝潘成超蒋文亚李阿杰谈艳阳
- 一种水蒸气氧化退火系统
- 本发明公开一种水蒸气氧化退火系统。所述退火系统包括：退火装置、水蒸气发生装置、水氧检测仪、比例阀、控制器和气体导管，其中，所述水蒸气发生装置与所述退火装置通过所述气体导管连接，所述比例阀设置在所述气体导管上；所述水氧检测...
- 李喜峰姜姝杨祥陈龙龙张建华
- 文献传递
- 薄膜晶体管的制备方法及具有导电孤岛的薄膜晶体管
- 本发明公开一种薄膜晶体管的制备方法，制备方法包括：设置基板，在基板上制备栅极薄膜；对栅极薄膜依次进行涂胶、烘烤、光刻、显影、刻蚀和去胶，形成栅电极；在栅电极上制备绝缘层，并在绝缘层上制备源漏电极层；对源漏电极层依次进行涂...
- 李喜峰杨祥岳致富姜姝许云龙陈龙龙张建华
- 溶液法制备掺钨氧化锌锡薄膜晶体管的研究
- 随着科技的不断进步,对于显示面板的要求也在逐渐提高,要求大面积,高分辨,高帧率,由此对TFT也提出了更高的要求,尤其是TFT器件的有源层材料。近年来,新型非晶氧化物薄膜晶体管由于具有良好的电学特性,较高的光学透过率,能够...
- 杨祥
- 关键词：薄膜晶体管溶液法退火温度
- 一种水蒸气氧化退火系统
- 本发明公开一种水蒸气氧化退火系统。所述退火系统包括：退火装置、水蒸气发生装置、水氧检测仪、比例阀、控制器和气体导管，其中，所述水蒸气发生装置与所述退火装置通过所述气体导管连接，所述比例阀设置在所述气体导管上；所述水氧检测...
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- 文献传递
- 薄膜晶体管的制备方法及具有导电孤岛的薄膜晶体管
- 本发明公开一种薄膜晶体管的制备方法，制备方法包括：设置基板，在基板上制备栅极薄膜；对栅极薄膜依次进行涂胶、烘烤、光刻、显影、刻蚀和去胶，形成栅电极；在栅电极上制备绝缘层，并在绝缘层上制备源漏电极层；对源漏电极层依次进行涂...
- 李喜峰杨祥岳致富姜姝许云龙陈龙龙张建华
- 文献传递
- 一种绑定式旋转靶材
- 本实用新型公开了一种绑定式旋转靶材，包括靶管、衬管、支撑片、电阻丝和绝缘层，支撑片置于衬管内侧，电阻丝设置于支撑片的外侧，绝缘层包裹于电阻丝的外侧，衬管套装于靶管内，靶管和衬管之间填充有金属焊料。本实用新型的绑定式旋转靶...
- 李喜峰姜姝陈龙龙杨祥潘成超谈艳阳
- 文献传递
- 一种湿法制备薄膜方法
- 本发明公开一种湿法制备薄膜方法，包括：将溶质金属化合物溶解于有机溶剂中，得到前驱体溶液；根据所述前驱体溶液制备初始薄膜；对所述初始薄膜进行前期退火；前期退火完成后进行指定次数循环的水蒸气热处理，获得成品薄膜。采用本发明中...
- 李喜峰姜姝杨祥陈龙龙张建华
