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沈宝玉
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1
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供职机构:
中国电子科技集团第十一研究所
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合作作者
李达
中国电子科技集团第十一研究所
折伟林
中国电子科技集团第十一研究所
周立庆
中国电子科技集团第十一研究所
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中国电子科技...
作者
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周立庆
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折伟林
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沈宝玉
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李达
年份
1篇
2017
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一种半导体晶片X射线形貌像的样品承载装置及测试方法
本发明涉及一种半导体晶片X射线形貌像的样品承载装置及测试方法。样品承载装置包括样品承载装置包括样品台、若干卡扣以及布设在样品台上与卡扣数量相匹配的若干凹槽;凹槽以样品台上指定位置为起点向外延伸;卡扣设在凹槽内且可在凹槽内...
折伟林
沈宝玉
李达
赵会崧
周立庆
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