胡兵兵
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：苏州大学机电工程学院更多>>
- 发文基金：江苏省基础研究计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺化学工程更多>>
- 多轮廓型腔结构件磁控溅射类金刚石碳膜附着机理研究
- 2017年
- 多轮廓型腔结构件具有复杂的内腔,普通镀膜方法对工件内腔镀膜过程中存在膜基结合力差、靶材利用率低、薄膜厚度不均匀致密、内腔死角无法镀膜等诸多问题。针对这些问题,研究采用多靶头旋转式柱状磁控溅射靶,在镀膜机的不同位置安装多靶多材,使靶能够自由旋转来实现复杂内腔壁定向镀膜和膜层均匀性的需要;同时采用梯度复合膜结构来改善单一膜层所存在的膜基结合力差、易于从基体上剥离等问题,通过选择合适的基片温度等磁控溅射工艺参数来提高膜与基片界面之间的附着强度,从而实现在多轮廓型腔结构件的复杂内腔壁镀厚度均匀、致密连续的功能性DLC复合薄膜。
- 王德山胡兵兵徐汇音李奇亮李卫国
- 关键词：磁控溅射DLC薄膜
- 复杂腔体件表面磁控溅射镀膜关键技术的研究被引量：1
- 2018年
- 多轮廓型腔结构件具有复杂的内腔,采用化学镀膜方法在对工件内腔镀膜过程中存在膜基结合力差、薄膜厚度不均匀致密、内腔死角无法镀膜以及环境污染等诸多问题。磁控溅射镀膜技术作为一种新型镀膜工艺,其镀膜均匀致密且绿色无污染,能良好地应用于多轮廓型腔结构件中。论述了不同磁控溅射镀膜方法的特点,以及磁控溅射镀膜在复杂型腔结构件中的关键技术。
- 王德山陈尤旭胡兵兵
- 关键词：磁控溅射复杂型腔绿色环保表面镀膜
- 基于多轮廓型腔结构件表面DLC薄膜的制备与性能研究被引量：1
- 2017年
- 类金刚石碳膜是力学综合性能、耐磨损、耐腐蚀和透光性能好的薄膜,在先进制造技术领域得到了越来越多的应用。通过类金刚石(DLC)薄膜制备方法与机械特性的阐述,对不同磁控溅射法对多轮廓型腔结构件表面DLC薄膜结构性能的干扰制约,以及DLC薄膜工艺技术制定方案的关键问题进行深入探究。
- 王德山胡兵兵徐汇音李奇亮李卫国
- 关键词：磁控溅射工艺性能
