提出了一种环保、高效、低成本的传感器制作方法。应用等离子体射流喷枪沉积Zn O半导体材料,其中等离子体射流喷枪的气源为N2,电源采用输出频率为20 k Hz的高频高压电源。使用Zn(NO3)2的水溶液作为前驱物,经过雾化装置形成气溶胶,气溶胶在等离子体的氛围中成功在衬底上沉积出一层Zn O半导体材料,通过XRD、SEM、UV-Vis等对其进行表征分析。并对基于该方法制备的Zn O湿度传感器性能进行表征。Zn O沉积时间为5 min时的灵敏度最高,低湿和高湿下分别为0.435 p F/%RH和19.634 p F/%RH,同时该样品的迟滞、响应时间与恢复时间亦是最优。
