王浩
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
- 供职机构：重庆大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金材料腐蚀与防护四川省重点实验室开放基金项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 3～5μm红外窗口增透涂层的制备与性能研究被引量：1
- 2017年
- 利用直流非平衡磁控溅射技术,在100℃条件下,在单晶硅上制备了具有红外增透效果的类金刚石薄膜,研究了偏压对薄膜结构、机械性能和红外光学性能的影响,解释了薄膜结构与性能之间的关系。利用场发射扫描电镜(FESEM)、Dektak150型台阶仪、Raman光谱仪、纳米压痕仪、椭偏仪和傅里叶红外吸收光谱仪表征薄膜形貌、结构、硬度、折射率和红外光学性能。实验结果表明:在偏压为-100 V时,薄膜中sp3相含量最高,得到最大的纳米硬度14.8 GPa和最大折射率2.36,此时透光率为67.3%;在偏压为-200 V时,薄膜硬度为11.2 GPa,薄膜的折射率为2.06,最接近零反射膜所需折射率,此时透过率最大。
- 王浩曾宪光孙德恩裴晨蕊黄佳木
- 关键词：红外窗口类金刚石薄膜力学性能光学性能
