陈光海
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院深圳先进技术研究院更多>>
- 发文基金：广东省科技计划工业攻关项目国家自然科学基金深圳市科技计划项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 薄膜热膨胀系数测试技术研究被引量：2
- 2017年
- 热膨胀系数是薄膜的重要热学性能参数,也是薄膜热应力和残余应力计算分析过程中的关键数据。文章基于热诱导弯曲原理,分别采用单基片法和双基片法对氮化钛(TiN)和铝(Al)薄膜的热膨胀系数进行测试,并着重对双基片法的测试误差和适用性进行了分析。研究结果表明,薄膜在不同材质基底上弹性模量的差异是影响双基片法薄膜热膨胀系数测试精度的重要因素。当不同材质基片上薄膜弹性模量差异较小时,双基片法测得的热膨胀系数与单基片法所获结果基本一致;而当不同材质基片上薄膜弹性模量相差较大时,双基片法将不再适用。此外,文章结合薄膜的形貌、结构和残余应力表征测试,对TiN和Al薄膜热膨胀系数与其块体材料的差异进行了分析,结果显示残余压应力会导致薄膜热膨胀系数增大,而残余拉应力则具有相反的效果。
- 石磊蒋春磊陈光海唐永炳
- 关键词：热膨胀系数弹性模量残余应力
- 一种具有二硼化钛‑金刚石复合涂层的工件及其制备方法
- 本发明提供了一种具有二硼化钛‑金刚石复合涂层的工件，包括工件基体，以及依次设置于所述工件基体表面的二硼化钛涂层和金刚石涂层。本发明通过在金刚石涂层与工件基体之间设置二硼化钛涂层，提高了金刚石涂层与工件基体之间的结合力，解...
- 唐永炳王陶张松全蒋春磊陈光海
- 文献传递
