李杨
- 作品数：3 被引量：11H指数：3
- 供职机构：哈尔滨工业大学航天学院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 直驱式系统中交流调速系统的设计被引量：4
- 2017年
- 在大功率、大容量的自动控制系统中大量使用液压系统。传统液压系统中电机不可调速,而是通过伺服阀和变量泵来实现控制输出,性能有限。而直驱式系统采用可调速电机和定量泵代替了传统液压系统的不可调速电机和伺服变量泵,不光极大的提高了系统的性能,还可以简化结构,提高可靠性和经济性。直驱式系统实现的关键在于交流调速系统,因此本文分别对基于交流异步电机和同步电机的调速系统进行了研究。先简要介绍了交流调速的发展和背景,然后提出交流电机的数学模型的特点,再介绍了矢量控制理论和坐标变换的原理以及matlab仿真模块的搭建。最后通过仿真和实验交流异步电机和交流同步电机调速系统,可以分析得出结论 :同步电机的调速系统的快速性、通频带等性能指标比异步电机的更好,在直驱式系统中应用同步电机调速系统是更好的选择。
- 饶裕刘杨齐彪李杨浑陆王岩
- 关键词：矢量控制交流异步电机永磁同步电机
- 基于宏微驱动的光刻机掩模台控制系统设计被引量：4
- 2017年
- 光刻是集成电路制造环节的一项重要工艺,主要通过光刻机来完成。作为其重要组成部分,掩模台的性能直接决定了能生产的芯片制程和效率,其工作特点对掩模台提出各种要求,例如:大行程、高精度等。本文采用了一种宏微结合的控制方案,即宏动部分实现大行程粗定位,微动实现小行程精定位。并利用PID控制算法配合高精度的传感器在实验室实验这套控制方案。文章介绍了系统构成,宏微控制策略,以及各个环节的实现,并分析了最后的实验结果 ,为今后的掩模台控制系统设计提供参考依据。
- 饶裕刘杨齐彪李杨王岩
- 关键词：光刻机PID运动控制卡
- 磁悬浮平面电机的建模与仿真被引量：3
- 2017年
- 磁浮平面电机是一种新型的平面电机,这种平面电机可以实现在六个自由度上的运动,可实现真空条件更适合于在光刻机中使用。本文以鱼骨型动磁式磁浮平面电机为分析目标,在充分了解电机气隙磁场的基础上,建立磁浮平面电机的磁场模型并进行仿真,以线圈在永磁磁场中的受力和力矩模型为重点,并结合鱼骨型线圈排列的特点对电机的解耦做了简要说明。将单个线圈进行一定程度的简化后,建立了单线圈在Halbach永磁阵列磁场中所受作用力和力矩的模型,并得出单线圈所受力和力矩的表达式,最终建立了一个较为完整的磁悬浮平面电机的模型。
- 李杨刘杨浑陆饶裕
- 关键词：平面电机磁浮
