齐彪
- 作品数：4 被引量：10H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学航天学院更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于CCD摄像头的目标跟踪系统设计被引量：1
- 2017年
- 目标随动控制系统是典型的自动化控制系统之一,被广泛的应用于跟踪技术等研究领域当中。设计是基于K60单片机的摄像式图像实时采集测量系统,主要是采用索尼CCD摄像头作为位置传感器,其输出的视频信号经外部模数转换器转换成八位数字量,传输给K60单片机中,并由其完成图像采集及图像处理的工作,并根据目标在图像中位置的偏差,驱动双轴转台转向当前目标当前所在方位。该设备由图像采集与图像处理系统,伺服控制系统,通信系统等组成。
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- 关键词：目标跟踪随动控制图像处理单片机
- 直驱式系统中交流调速系统的设计被引量：4
- 2017年
- 在大功率、大容量的自动控制系统中大量使用液压系统。传统液压系统中电机不可调速,而是通过伺服阀和变量泵来实现控制输出,性能有限。而直驱式系统采用可调速电机和定量泵代替了传统液压系统的不可调速电机和伺服变量泵,不光极大的提高了系统的性能,还可以简化结构,提高可靠性和经济性。直驱式系统实现的关键在于交流调速系统,因此本文分别对基于交流异步电机和同步电机的调速系统进行了研究。先简要介绍了交流调速的发展和背景,然后提出交流电机的数学模型的特点,再介绍了矢量控制理论和坐标变换的原理以及matlab仿真模块的搭建。最后通过仿真和实验交流异步电机和交流同步电机调速系统,可以分析得出结论 :同步电机的调速系统的快速性、通频带等性能指标比异步电机的更好,在直驱式系统中应用同步电机调速系统是更好的选择。
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- 关键词：矢量控制交流异步电机永磁同步电机
- 基于宏微驱动的光刻机掩模台控制系统设计被引量：4
- 2017年
- 光刻是集成电路制造环节的一项重要工艺,主要通过光刻机来完成。作为其重要组成部分,掩模台的性能直接决定了能生产的芯片制程和效率,其工作特点对掩模台提出各种要求,例如:大行程、高精度等。本文采用了一种宏微结合的控制方案,即宏动部分实现大行程粗定位,微动实现小行程精定位。并利用PID控制算法配合高精度的传感器在实验室实验这套控制方案。文章介绍了系统构成,宏微控制策略,以及各个环节的实现,并分析了最后的实验结果 ,为今后的掩模台控制系统设计提供参考依据。
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- 关键词：光刻机PID运动控制卡
- 电机同步过程中的扰动抑制被引量：1
- 2017年
- 双工件台换台是光刻机研制的核心,换台过程要求高速度和高精度,因此扰动的存在极易导致换台的失败。本文主要对Y向多电机同步过程中的扰动进行了分析与抑制。结合现有的同步控制策略,介绍了基于扰动补偿的同步控制策略,将扰动观测器应用在补偿回路,并进行了仿真验证研究,然后针对Y向的负载扰动,设计了负载扰动动态补偿器,对上述同步控制策略进行了修正,并通过仿真验证了其有效性。
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- 关键词：光刻机动态补偿
