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董世杰
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
北方工业大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
化学工程
理学
机械工程
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合作作者
陈若愚
北方工业大学
张程浩
北方工业大学
赵全亮
北方工业大学
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微结构
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微结构表征
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介电
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介电性
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介电性能
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基频
机构
3篇
北方工业大学
作者
3篇
董世杰
1篇
赵全亮
1篇
张程浩
1篇
陈若愚
传媒
1篇
仪表技术与传...
1篇
第十三届全国...
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2017
1篇
2015
1篇
2014
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铌掺杂锆钛酸铅薄膜驱动的压电MEMS悬臂梁研究
压电式微悬臂梁是一种基于微机电系统(MEMS)技术,在硅片上制成的一端固定另外一端可以垂直于基底运动的微机械结构,复杂的MEMS传感器和驱动器中具有重要的应用价值。本课题研究了一种利用LaNiO3(LNO)为下电极制备的...
董世杰
关键词:
微机电系统
压电式
悬臂梁
文献传递
溶胶-凝胶法制备的硅基BiFeO3/LaNiO3薄膜表征及性能
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在LaNiO3(100)/Si(100)基底上制备了BiFeO3(BFO)薄膜,并对其进行了微结构表征和铁电、介电性能测试.X射线衍射(XRD)分析结果表面,BFO/LNO薄膜呈随机取向...
赵全亮
董世杰
李中翔
祁利辉
雷洪
关键词:
铁电性能
介电性能
微结构表征
压电微悬臂梁的制作及其基频的研究
被引量:2
2017年
制作了PNZT薄膜驱动的压电微悬臂梁,将压电微悬臂梁的模型简化为压电层-结构层双层微悬臂梁模型,并使用理论计算和有限元仿真软件分析了双层微悬臂梁模型的基频,最后用激光多普勒测振仪对微悬臂梁结构进行了测试。结果表明,仿真、理论和实验测试结果在一定程度上符合得很好,为以后此类压电微悬臂梁的制作和基频的计算提供了参考。
张程浩
陈若愚
董世杰
关键词:
基频
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