您的位置： 专家智库 > >

卢永惠

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：江苏大学材料科学与工程学院更多>>
相关领域：理学一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇数对
  • 1篇面形
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射功率
  • 1篇工艺参
  • 1篇TI
  • 1篇表面形态
  • 1篇NDFEB

机构

  • 1篇江苏大学

作者

  • 1篇傅明喜
  • 1篇宗华
  • 1篇查燕青
  • 1篇李岩
  • 1篇卢永惠

传媒

  • 1篇表面技术

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
工艺参数对Ti和NdFeB薄膜形态的影响被引量：4
2005年
采用磁控溅射法制备Ti、NdFeB薄膜,并研究分析了工艺参数对Ti薄膜及NdFeB磁性薄膜表面形态的影响。试验结果表明,在一定的工艺条件下,通过对基片的加热控制可以获得单一方向生长的柱状晶结构薄膜。随着溅射功率的提高,NdFeB薄膜的沉积均匀性降低。
傅明喜李岩查燕青宗华卢永惠
关键词：表面形态溅射功率
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0