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唐骏

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国光电技术发展中心更多>>
发文基金：浙江省自然科学基金国家科技攻关计划更多>>
相关领域：动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇动力工程及工...

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇少子寿命

机构

  • 1篇浙江理工大学
  • 1篇中国光电技术...
  • 1篇杭州海纳半导...

作者

  • 1篇杜平凡
  • 1篇席珍强
  • 1篇徐敏
  • 1篇姚剑
  • 1篇唐骏

传媒

  • 1篇能源工程

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
铸造多晶硅硅片的磷吸杂研究被引量：3
2007年
主要研究了铸造多晶硅晶锭不同位置的硅片在磷吸杂前后电学性能的变化。结果发现,经过870℃磷吸杂40 min后不同位置处硅片的少数载流子寿命都有显著的提高,其中来自硅锭底部硅片的少数载流子寿命的提高程度明显低于来自顶部样品寿命的提高幅度。由于氧的分凝效应,在铸造多晶硅底部材料中含有较高浓度的间隙氧。结果表明,多晶硅磷吸杂的效果不仅与材料中过渡族金属的分布以及形态有关,而且还可能与硅中氧的浓度有关。
唐骏黄笑容席珍强杜平凡姚剑徐敏
关键词：多晶硅少子寿命
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