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张健民
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中南大学材料科学与工程学院
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
吴姣
中南大学材料科学与工程学院
赵祯
中南大学材料科学与工程学院
苏玉长
中南大学材料科学与工程学院
席运泽
中南大学材料科学与工程学院
杨东麟
中南大学材料科学与工程学院
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张健民
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机械工程材料
年份
1篇
2013
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ATO透明导电薄膜的研究进展
被引量:4
2013年
概述了国内外掺锑氧化锡(ATO)透明导电薄膜制备技术的研究现状,包括溶胶凝胶法、射频磁控溅射法、喷雾热解法、化学气相沉积法等,对比分析了各种制备方法的优缺点和及其所制备薄膜的性能;介绍了薄膜厚度、锑掺杂浓度、退火工艺参数等对薄膜光学性能的影响,提出了开发具有良好光学性能ATO薄膜需要解决的问题。最后对ATO薄膜今后的发展方向进行了展望。
赵祯
张健民
吴姣
席运泽
杨东麟
苏玉长
关键词:
光学性能
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