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张浩

作品数:1 被引量:4H指数:1
供职机构:西北民族大学更多>>
发文基金:国家民委科研基金甘肃省自然科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇氧分压
  • 1篇氧化锌薄膜
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇射线衍射
  • 1篇纳米ZNO薄...
  • 1篇溅射
  • 1篇光致
  • 1篇光致发光
  • 1篇光致发光特性
  • 1篇发光
  • 1篇发光特性
  • 1篇X射线衍射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇西北民族大学

作者

  • 1篇张国恒
  • 1篇薛华
  • 1篇张浩

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2009
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
氧分压对纳米ZnO薄膜光致发光特性的影响被引量:4
2009年
采用射频反应磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备出具有c轴高择优取向的ZnO薄膜,利用X射线衍射仪及荧光分光光度计研究了氧分压变化对ZnO薄膜的微观结构及光致发光特性的影响。结果表明,当工作气压恒定时,合适的氧分压能够提高ZnO薄膜的结晶质量。对样品进行光致发光测量时,所制备ZnO薄膜样品在400 nm左右出现较强紫光发射,在446 nm出现蓝光发射,经分析认为紫光发射来源于激子复合,而446 nm左右的蓝光发射来源于ZnO薄膜内部的Zni缺陷。
薛华张国恒张浩
关键词:氧化锌薄膜射频磁控溅射X射线衍射光致发光
共1页<1>
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