您的位置： 专家智库 > >

张竞

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：上海交通大学理学院物理系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇折射率
  • 1篇膜厚
  • 1篇薄膜厚度
  • 1篇波导
  • 1篇波导结
  • 1篇波导结构
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇沈启舜
  • 1篇曹庄琪
  • 1篇李红根
  • 1篇陆海峰
  • 1篇张竞

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
强吸收衬底上薄膜厚度和折射率的测量新方法被引量：2
2006年
提出了一种同时测量强吸收衬底上薄膜厚度和折射率的方法。对生长于强吸收衬底上的透明薄膜,提出在该薄膜上镀一层薄金属,形成金属-薄膜-强吸收衬底的类波导结构。由于小角度入射光在强吸收衬底上具有较强的反射率,使该结构可容纳一系列共振模。利用自由空间耦合技术和导出的共振模模式本征方程,同时确定透明薄膜的厚度和折射率。实验中测量了硅衬底上制备的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜的折射率和厚度,测量的相对误差均小于10-3。该方法具有简便、可靠、可测量任意折射率薄膜的优点。
张竞曹庄琪陆海峰李红根沈启舜
关键词：膜厚折射率
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0