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彭悦

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：四川压电与声光技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇声表面波
  • 1篇声表面波器件
  • 1篇化学腐蚀

机构

  • 1篇四川压电与声...

作者

  • 1篇陈台琼
  • 1篇朱瑛
  • 1篇彭悦

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
化学腐蚀对声表面波器件性能影响分析
2007年
Al膜的化学腐蚀直接影响声表面波器件的可靠性,造成器件功能性失效。该文对SAW器件Al膜的化学腐蚀的机理、过程、产生的条件、对器件性能及可靠性的影响进行了分析,并对其进行了试验验证和检测,以及在生产过程中如何加以预防和控制进行了阐述。
朱瑛陈台琼彭悦
关键词：声表面波器件化学腐蚀
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共1页<1>
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