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祁尧

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中南大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米金刚石
  • 1篇纳米金刚石薄...
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇刚石
  • 1篇CH
  • 1篇沉积速率
  • 1篇AR-CO

机构

  • 1篇中国工程物理...
  • 1篇中南大学
  • 1篇南京三乐电子...

作者

  • 1篇马莉
  • 1篇梅军
  • 1篇胡东平
  • 1篇魏秋平
  • 1篇余志明
  • 1篇李周
  • 1篇吴先哲
  • 1篇祁尧

传媒

  • 1篇稀有金属材料...

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微波CVD方法在Ar-CO_2-CH_4体系中沉积超纳米金刚石薄膜（英文）被引量：1
2015年
采用微波CVD系统研究了Ar-CO_2-CH_4气氛中不同工艺条件对超纳米金刚石薄膜形貌的影响。结果表明:以Ar-CO_2-CH_4为反应气源,可制备出晶粒尺寸为20 nm左右、表面粗糙度在16 nm以下,厚度达5μm以上,结构致密的超纳米金刚石薄膜;在Ar-CH_4组分中添加CO_2可明显提高金刚石膜的沉积速率,但采用该气源组分能够得到致密金刚石膜的气源组成范围很窄。其原因和控制方式有待深入研究。
丰杰祁尧盛景恺李周马莉吴先哲胡东平梅军余志明魏秋平
关键词：原子力显微镜沉积速率
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