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邵友东
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北京大学深圳研究生院
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相关领域:
理学
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合作作者
王新炜
北京大学深圳研究生院
高源鸿
北京大学深圳研究生院
孟鸿
北京大学深圳研究生院
李豪
北京大学深圳研究生院
苏彦涛
北京大学深圳研究生院
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北京大学
作者
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王新炜
5篇
邵友东
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高源鸿
2篇
孟鸿
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1篇
苏彦涛
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李豪
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1篇
2018
1篇
2017
2篇
2016
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FeS<Sub>x</Sub>薄膜、肼撑苯基化合物及沉积方法和制备方法
本发明公开FeS<Sub>x</Sub>薄膜、肼撑苯基化合物及沉积方法和制备方法,沉积方法包括步骤:将铁前驱体和硫前驱体送入放有基底的沉积腔室中,沉积腔室温度设定为20~400℃,进行FeS<Sub>x</Sub>薄膜的...
王新炜
国政
邵友东
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FeS<Sub>x</Sub>薄膜、肼撑苯基化合物及沉积方法和制备方法
本发明公开FeS<Sub>x</Sub>薄膜、肼撑苯基化合物及沉积方法和制备方法,沉积方法包括步骤:将铁前驱体和硫前驱体送入放有基底的沉积腔室中,沉积腔室温度设定为20~400℃,进行FeS<Sub>x</Sub>薄膜的...
王新炜
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沉积氧化物薄膜的方法、有机场效应晶体管及其制备方法
本发明公开沉积氧化物薄膜的方法、有机场效应晶体管及其制备方法。沉积方法包括步骤:A、将待处理的有机半导体装入气相原子层沉积装置的真空反应腔体;B、对真空反应腔体进行抽真空,维持真空反应腔体跟外部空气环境的有效隔离,并维持...
王新炜
高源鸿
邵友东
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沉积氧化物薄膜的方法、有机场效应晶体管及其制备方法
本发明公开沉积氧化物薄膜的方法、有机场效应晶体管及其制备方法。沉积方法包括步骤:A、将待处理的有机半导体装入气相原子层沉积装置的真空反应腔体;B、对真空反应腔体进行抽真空,维持真空反应腔体跟外部空气环境的有效隔离,并维持...
王新炜
高源鸿
邵友东
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一种用于电极粉体材料包覆的气相原子层沉积装置及应用
本申请公开了一种用于电极粉体材料包覆的气相原子层沉积装置和电极粉体材料包覆的方法。本申请的气相原子层沉积装置,包括真空反应腔体和监控系统,真空反应腔体中设置有搅拌装置,搅拌装置与监控系统电连接或信号连接,通过监控系统控制...
苏彦涛
王新炜
潘锋
邵友东
李豪
高源鸿
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