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吴英
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河北师范大学
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郭文哲
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侯登录
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马丽
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一种无金属辅助SiO<Sub>2</Sub>微球模板法制备有序多孔硅的方法
本发明公开了一种无金属辅助SiO<Sub>2</Sub>微球模板法制备有序多孔硅的方法。用垂直沉积法在Si衬底上沉积一层SiO<Sub>2</Sub>微球,并经过1000℃退火2h,再放入腐蚀液中进行腐蚀。高温退火后带有...
甄聪棉
吴英
张凯琪
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