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孟洪
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
李金平
中国电子科技集团公司
陈丽洁
中国电子科技集团公司
张鹏
中国电子科技集团公司
宫占江
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2013
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一种新型三维MEMS电容式矢量水听器研制
被引量:5
2013年
介绍了一种基于MEMS工艺设计的电容式矢量水听器。该矢量水听器的检测单元包括一个"三明治"结构敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路。通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路,使矢量水听器得到很高的灵敏度、分辨率。利用MEMS微机械加工工艺制作出矢量水听器,检测单元相互正交并进行了声学灌封。矢量水听器完成了水下驻波场测试,测试结果表明:该矢量水听器的接收灵敏度在1 000 Hz时达到-180 dB(0 dB re 1 V/μPa),动态范围大于120 dB。
宫占江
李金平
张鹏
陈丽洁
孟洪
关键词:
MEMS
矢量水听器
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