宋春苗
- 作品数:2 被引量:3H指数:1
- 供职机构:北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院更多>>
- 发文基金:北京航空航天大学青年创新基金更多>>
- 相关领域:机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 考虑轴向力及附加质量的谐振音叉建模及仿真
- 2012年
- 为解决考虑轴向力及附件质量的谐振音叉理论计算问题,在对没有考虑附加质量及轴向力的音叉理论模型进行分析的基础上,采用瑞利法和能量守恒定律,分别对考虑轴向力,考虑附加质量及同时考虑轴向力及附加质量3种情况下谐振音叉的理论模型进行了推导。在此基础上,采用有限元仿真的方法,对上述几种情况的理论模型的正确性进行了验证,多个仿真结果表明,理论计算结果与仿真结果之间的相对误差小于1%,说明了理论模型的正确性。
- 郭占社宋春苗郑仕学
- 关键词:轴向力有限元仿真
- 考虑制作工艺和边缘效应的梳齿电容理论被引量:3
- 2010年
- 为解决梳齿驱动器中理想计算模型误差较大的问题,利用平板电容理论及微积分方法,对制作工艺及边缘效应的影响进行了分析,并建立相应的计算模型.在此基础上,以加工完毕的梳齿驱动器为研究目标,得到其电容在理想条件下、考虑制造工艺误差及边缘效应条件下的计算结果分别为1.267 3 pF和1.440 3 pF.两者与利用高精度LCR测试仪测量所得电容1.517 2 pF之间的相对误差分别为16.47%和5.07%.实验结果表明,考虑制造工艺误差及边缘效应时计算结果的精度远远高于理想条件下计算结果的精度,证明了该理论模型的正确性.
- 郭占社冯舟庄海涵宋春苗樊尚春
- 关键词:MEMS