在Ar和O2气氛下采用直流反应溅射沉积了MoO3薄膜,样品制备过程中改变薄膜沉积气压,保持其它参数不变,研究了沉积气压对其电致变色性能的影响.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶红外透射光谱(FTIR)对薄膜的结构进行了表征.采用分光光度计研究了MoO3薄膜的电致变色性能,通过电致变色动态测试对样品的电致变色循环稳定性能和响应时间进行了研究.研究结果表明,MoO3薄膜样品为非晶结构,当沉积气压为3 Pa时,MoO3薄膜样品具有较好的电致变色性能,其在可见光范围的平均调色范围为69%,着色时间为5s,漂白时间为27 s.
