您的位置： 专家智库 > >

钟强

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：重庆邮电大学光电工程学院更多>>
发文基金：重庆市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇电镀
  • 1篇阵列
  • 1篇微细
  • 1篇金属互连
  • 1篇互连
  • 1篇互连线
  • 1篇MEMS

机构

  • 2篇重庆邮电大学
  • 2篇重庆光电技术...
  • 1篇重庆科技学院

作者

  • 2篇叶嗣荣
  • 2篇刘小芹
  • 2篇钟强
  • 1篇赵文伯
  • 1篇江永清
  • 1篇吴英
  • 1篇周家万

传媒

  • 2篇半导体光电

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
微细厚铜金属互连线制作技术研究
2010年
微细厚铜金属互连线不仅具有耐大电流的能力,而且具有低的电阻值,在MEMS领域具有重要的应用。采用分布式涂胶法,通过控制各工艺参数,在PC板衬底上制备了厚的光刻胶掩模图形。利用恒流电镀法在PC板衬底上沉积出宽度为5μm,间距为5μm的厚金属铜互联线,可为厚金属互连工艺提供一定的技术支持。
江永清钟强吴英叶嗣荣刘小芹
关键词：电镀MEMS金属互连
非等平面AlGaN紫外探测器阵列挡光技术研究
2009年
介绍了SiO2/PI1/Al/PI2挡光技术的原理及其制作工艺过程。通过采用SiO2/聚酰亚胺(PI1)/Al/PI2挡光技术,实现了真正意义上的日盲紫外成像。此技术主要应用于日盲型AlGaN紫外焦平面阵列。
叶嗣荣刘小芹赵文伯周家万钟强
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0