吴倩
- 作品数：9 被引量：16H指数：2
- 供职机构：成都精密光学工程研究中心更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 不同制备工艺下氧化硅和氧化铪薄膜的椭偏光谱被引量：2
- 2012年
- 椭偏技术是一种分析表面的光学方法,通过测量被测对象(样品)反射出的光线的偏振状态的变化情况来研究被测物质的性质。结合XRD和原子力显微镜等方法,利用椭圆偏振光谱仪测试了单层SiO2薄膜(K9基片)和单层HfO2薄膜(K9基片)的椭偏参数,并用Sellmeier模型和Cauchy模型对两种薄膜进行拟合,获得了SiO2薄膜和HfO2薄膜在300～800 nm波段内的色散关系。用X射线衍射仪确定薄膜结构,用原子力显微镜观察薄膜的微观形貌,分析表明:SiO2薄膜晶相结构呈现无定型结构,HfO2薄膜的晶相结构呈现单斜相结构;薄膜光学常数的大小和薄膜的表面形貌有关;Sellmeier和Cauchy模型较好地描述了该波段内薄膜的光学性能,并得到薄膜的折射率和消光系数等光学常数随波长的变化规律。
- 吴倩陈松林马平
- 关键词：椭偏光谱光学参数光谱
- 后处理对HfO_2薄膜光学特性及抗激光损伤阈值的影响被引量：6
- 2016年
- 利用电子束蒸发技术制备了氧化铪薄膜,并分别用氧气氛下退火和激光预处理两种后处理方法对样品进行了处理。介绍了两种后处理工艺和相关的设备,测试分析了样品的透过率、吸收和抗激光损伤阈值。对比了两种后处理方法对降低吸收和提高激光损伤阈值的效果,讨论了它们的作用原理。实验结果表明,激光预处理能有效降低样品的吸收值,提高样品的抗激光损伤阈值。采用一步法(50%初始损伤阈值)预处理后,三倍频氧化铪薄膜的损伤阈值从13J/cm^2提升到15J/cm^2;采用两步法(依次50%、80%初始损伤阈值)预处理后,三倍频氧化铪薄膜的损伤阈值从13J/cm^2提升到17.5J/cm^2,损伤几率曲线整体向高通量区域平移。
- 吴倩罗晋潘峰
- 关键词：HFO2薄膜镀膜技术后处理薄膜光学特性激光损伤阈值
- 缺陷对HfO2薄膜的激光弱吸收与损伤阈值的影响
- 激光弱吸收是导致光学薄膜损伤的重要原因。在0.7-2.7*10Pa的氧分压下制备并测试了一组HfO膜。实验发现,当氧分压小于1.2*10Pa时,薄膜弱吸收越大,损伤阈值越低;当氧分压大于1.2*10Pa时,薄膜的损伤阈值...
- 卫耀伟刘浩潘峰吴倩罗晋刘志超郑轶
- 文献传递
- SiO_2和HfO_2薄膜光学性能的椭偏光谱测量被引量：1
- 2010年
- 结合XRD和原子力显微镜等方法,利用椭圆偏振光谱仪测试了单层SiO_2薄膜(K9基片)和单层HfO_2薄膜(K9基片)的椭偏参数,并用Sellmeier模型和Cauchy模型对两种薄膜进行拟合,获得了SiO_2薄膜和HfO_2薄膜在300～800 nm波段内的色散关系。用X射线衍射仪确定薄膜结构,并用原子力显微镜观察薄膜的微观形貌,分析表明:SiO_2薄膜晶相结构呈现无定型结构,HfO_2薄膜的晶相结构呈现单斜相结构;薄膜光学常数的大小和薄膜的表面形貌有关;Sellmeier和Cauchy模型较好地描述了该波段内薄膜的光学性能,并得到薄膜的折射率和消光系数等光学常数随波长的变化规律。
- 吴倩陈松林马平王震罗晋潘峰
- 关键词：光学参数椭偏测量光谱
- 紫外光学薄膜后处理分析研究
- 利用电子束蒸发技术制备氧化铪薄膜,并分别用两种后处理方法(氧气氛下退火和激光预处理)对样品进行了处理,然后,对样品的透过率、吸收和抗激光损伤阈值进行测试分析。实验结果表明激光预处理能有效降低样品的吸收值,提高样品的抗激光...
- 吴倩罗晋潘峰
- 关键词：光学参数后处理
- 文献传递
- YAG晶体功能薄膜制备
- 2012年
- 采用电子束蒸发方法制备Nd:YAG晶体板条功能薄膜,理论设计并镀制具有倏逝膜功能的宽带泵浦光减反膜(808 nm HT)和具有谐波功能的双色膜(808 nm HR,1 064 nm HT)。实验表明:大角度使用条件下的双色膜通带波纹加剧是导致其光谱性能下降的主要原因,同时比较了不同工艺下膜层应力对薄膜开裂的影响,使用应力缓冲层技术抑制了薄膜老化过程中裂纹的形成和扩展。激光损伤测试结果表明双色膜的单脉冲损伤阈值大于5.6 J/cm2(1 064 nm,5 ns,1-on-1),连续激光损伤阈值大于500 kW/cm2(1 064 nm),原子力显微镜分析证实初始损伤源主要来自膜层及其界面的点状吸收缺陷。
- 陈松林马平刘志超王震潘峰吴倩罗晋
- 关键词：薄膜光学薄膜应力YAG晶体激光损伤
- 氧化钪/氧化硅反射薄膜的355nm激光损伤特性被引量：5
- 2009年
- 采用电子束蒸发法制备了Sc4O3单层薄膜和Sc2O3/SiO2多层反射膜。利用原子力显微镜、X射线衍射仪等方法对薄膜的表面和结构进行了研究。采用355 nm激光研究了Sc2O3/SiO2多层薄膜的损伤特性和预处理效应,并对Sc2O3的损伤原因进行了分析。实验发现,Sc2O3具有较宽的带隙,薄膜结构为立方相,影响Sc2O3/SiO2多层反射膜抗损伤能力的主要因素是材料的纯度。
- 马平陈松林潘峰王震罗晋吴倩邵建达
- 关键词：薄膜光学激光损伤氧化钪
- 单发大口径光束下介质膜损伤阈值测试被引量：2
- 2015年
- 针对传统的激光诱导损伤阈值测试中存在的耗时问题,提出了一种利用单发次、大口径光束的介质膜损伤阈值的快速测定方法。该方法以图像处理为基础,通过坐标变换和栅格压缩,建立了样品辐照区域内损伤分布与光斑强度分布之间的精确对应关系。基于对大口径光斑辐照区域内损伤信息的快速提取和统计方法,通过单次激光辐照,获取了待测区域的损伤阈值。根据此方法搭建了单发大口径光束损伤阈值测试平台,并对HfO2/SiO2高反射膜损伤阈值进行了单发次测定的验证。
- 刘志超郑轶吴倩潘峰罗晋张清华王健马平许乔
- 关键词：激光损伤阈值介质膜图像特征提取
- 大口径反射镜中频波前PSD1影响因素分析
- 随着高功率固体激光器的发展,对大口径光学元件的波前质量在低、中、高频段都提出了严格要求。针对以往较少关注的中频波前质量,通过实验数据统计和理论计算,分析研究了影响大口径反射镜中频波前PSD1指标的因素。结果表明,PSD1...
- 罗晋吴倩潘峰卫耀伟
- 关键词：大口径反射镜
- 文献传递
