吴奎
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
- 供职机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家杰出青年科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- Linnik白光干涉仪自动对焦及光程差最小化被引量：1
- 2012年
- 众所周知由于两个干涉臂光路不匹配和参考镜面与被测表面的离焦,要得到相干长度非常短的Linnik白光干涉仪的干涉条纹是非常困难的。本文提出了一种自动调节的方法来解决这个问题。为了实现参考镜面和被测表面的对焦,在商用DVD读取头的基础上,对其像散法进行改进,具体方法是对和信号SS设定一个阈值,通过此阈值对归一化后的FES曲线(NFES)进行裁剪,从而获得一个与离焦距离成单调关系的曲线(TNFES),其过零点对应的就是焦点。经过实验证明,改进后的自动对焦系统的动态范围为190?m,平均灵敏度70mV/?m,平均标准偏差0.041?m,分辨率4.4nm,不确定度55nm。此外为了最小化两个干涉臂的光程差,本文采用均方根RMSFC算法来计算成像在CCD上的干涉条纹的对比度,通过找到其最大值来最小化光程差。实验证明本文提出的自动方法可以有效地获得Linnik白光干涉仪的干涉条纹。
- 李勇吴奎卢荣胜董敬涛
- 关键词：自动对焦
