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杨守杰

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室更多>>
发文基金：黑龙江省自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇阵列
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇感器
  • 1篇ALN
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇传感器阵列
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇哈尔滨理工大...

作者

  • 1篇赵文杰
  • 1篇于洋
  • 1篇施云波
  • 1篇杨守杰

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
AlN陶瓷微热板MEMS传感器阵列设计与工艺实现被引量：4
2015年
针对陶瓷基微热板MEMS器件难以微加工,器件表面加热Pt膜使用普通正性光刻胶难以实现光刻剥离的工艺难点问题,提出了激光微加工和柔性机械剥离相结合的微加工方法。以Al N陶瓷为衬底基片,采用激光微加工技术实现热隔离刻蚀体加工,刻蚀梁宽可达0.2 mm。采用柔性机械剥离工艺制备方法解决普通正性光刻胶形成倒梯形凹槽Pt膜难实现图形化问题,可在复杂表面特性的陶瓷基衬底上实现Pt膜剥离线宽10μm。同时利用有限元法进行传感器阵列设计和热结构仿真,验证设计工艺的可行性。
赵文杰杨守杰于洋王向鑫施云波
关键词：微机电系统传感器阵列
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