您的位置： 专家智库 > >

杨琳

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：汕头大学理学院物理系更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇晶化
  • 2篇晶化过程
  • 2篇固相法
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇非晶硅
  • 2篇非晶硅薄膜

机构

  • 2篇汕头大学

作者

  • 2篇王江涌
  • 2篇黄木香
  • 2篇刘玉琪
  • 2篇杨琳

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
非晶硅薄膜晶化过程的研究被引量：2
2012年
多晶硅薄膜具有较高的电迁移率和稳定的光电性能,是制备微电子器件、薄膜晶体管、大面积平板液晶显示的优质材料。多晶硅薄膜被公认为是制备高效、低耗、最理想的薄膜太阳能电池的材料。因此,如何制备多晶硅薄膜是一个非常有意义的研究课题。固相法是制备多晶硅薄膜的一种常用方法,它是在高温退火的条件下,使非晶硅薄膜通过固相相变而成为多晶硅薄膜。本文采用固相法,利用X-ray衍射及拉曼光谱,对用不同方法制备的非晶硅薄膜的晶化过程进行了系统地研究。
黄木香杨琳刘玉琪王江涌
关键词：硅薄膜固相法
非晶硅薄膜晶化过程的研究
多晶硅薄膜具有较高的电迁移率和稳定的光电性能,是制备微电子器件、薄膜晶体管、大面积平板液晶显示的优质材料。多晶硅薄膜被公认为是制备高效、低耗、最理想的薄膜太阳能电池的材料。因此,如何制备多晶硅薄膜是一个非常有意义的研究课...
黄木香杨琳刘玉琪王江涌
关键词：硅薄膜固相法
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0