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王晓刚
作品数:
1
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H指数:1
供职机构:
烁光特晶科技有限公司
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相关领域:
理学
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合作作者
华大辰
烁光特晶科技有限公司
李建保
清华大学材料科学与工程系
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2009
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石英晶体中的腐蚀隧道缺陷
被引量:2
2009年
石英晶体中的腐蚀隧道缺陷是晶体结构中位错的宏观表现。腐蚀隧道缺陷不仅影响石英加工过程,由于石英晶体元器件常处于冲击、振动、温度变化、辐射等的环境中,腐蚀隧道缺陷也大大影响元器件的性能,降低结构强度。本文对腐蚀隧道进行了比较系统的分析,提出了减少、抑制晶体中腐蚀隧道缺陷的技术手段。
李法荟
李建保
华大辰
王晓刚
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石英晶体
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