肖卫华
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：泰州师范高等专科学校更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- TiN薄膜的制备及其纳米力学性能研究
- 2011年
- 采用磁控溅射工艺制备了TiN薄膜,借助X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜和纳米压痕仪等设备,研究了薄膜制备工艺参数(如基体温度、溅射功率、基体负偏压等)对薄膜的相结构、表面微观形貌、纳米硬度、弹性模量等的影响。结果表明:TiN薄膜为多晶态,其溅射功率、基体负偏压和基体温度等条件对薄膜的形貌、结构及纳米硬度、弹性模量等的影响比较复杂。
- 肖卫华崔秀芳何正彪
- 关键词：磁控溅射氮化钛
- 镁合金表面防蚀技术研究进展被引量：1
- 2005年
- 综述了镁合金表面处理方法的研究现状,主要介绍了表面改性、保护膜、渗层、有机涂层等表面防蚀技术的研究进展,并展望了镁合金表面处理技术的发展趋势。
- 肖卫华
- 关键词：镁合金耐蚀性表面改性
- TiN薄膜的制备及其纳米力学性能研究被引量：2
- 2010年
- 采用磁控溅射工艺制备了TiN薄膜,借助X射线衍射仪（XRD）、场发射扫描电子显微镜（FESEM）、原子力显微镜（AFM）和纳米压痕仪（nano-indentation）等,研究了薄膜的相结构、表面微观形貌、纳米硬度、弹性模量等,讨论了薄膜制备工艺参数,如基体温度、溅射功率、基体负偏压等的影响.结果表明,Ti N薄膜为多晶态,溅射功率、基体负偏压和基体温度等条件对薄膜的形貌、结构及纳米硬度、弹性模量等的影响比较复杂.
- 肖卫华崔秀芳何正彪
- 关键词：磁控溅射氮化钛
