吕爽
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
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- 一种用于电容式MEMS麦克风的读出电路
- 2013年
- 在分析电容式MEMS麦克风工作原理的基础上,提出了一种用于电容式MEMS麦克风的读出电路。该读出电路包括低极点频率的高通滤波器和低噪声单位增益缓冲器,高通滤波器用来读出MEMS麦克风在声压作用下产生的小信号,单位增益缓冲器用来隔离高通滤波器和后续信号处理电路,并提供较大的驱动能力。仿真结果表明,当电源电压在1.2～3.6V之间时,读出电路都可以正常工作,且静态电流小于60μA,等效输入噪声为5.2μV,电压增益大于-1.56dB(83.6%)。由于消除了失调电压的影响,电路可以处理幅度范围为50μV～200mV的小信号(参考X-FAB 0.35μm CMOS工艺)。
- 周锋李富华乔东海徐栋吕爽陈伟庆
- 关键词：读出电路高通滤波器
