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张乐陶
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
北京大学信息工程学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张盛东
北京大学信息工程学院
卢慧玲
北京大学信息工程学院
周航
北京大学信息工程学院
邵阳
北京大学信息工程学院
肖祥
北京大学信息工程学院
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非晶氧化铟镁薄膜晶体管的光电特性研究
被引量:1
2017年
研究了氧化铟镁(MgInO)薄膜晶体管在不同波长下的光响应。实验表明,入射光波长减小,光电流将增加。和积累区相比,耗尽区具有更高的信噪比,更适合于紫外探测。器件在短波时具有较大的响应度(>1A/W),截止波长在360nm左右。同时研究了源漏电压和沟道长度对光电流的影响。光电流与源漏电压之间具有良好的线性关系;沟长变短,渡越时间减小,可获得更高的光电增益。
卢慧玲
张乐陶
周航
张盛东
关键词:
薄膜晶体管
紫外探测
光电特性
栅与源/漏交叠对自对准a-IGZO TFTs性能的影响
本文研究了自对准结构非晶铟镓锌氧薄膜晶体管(a-IGZO TFTs)栅极与源极/漏极的交叠长度Lov对器件性能的影响.背面曝光光刻技术被采用以制备自对准的底栅底接触a-IGZO TFTs.通过变化光刻工艺中背面曝光的时间...
肖祥
邵阳
贺鑫
邓伟
岳仑仑
张曙光
张乐陶
王龙彦
张盛东
关键词:
自对准结构
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