张兴元
- 作品数：1 被引量：10H指数：1
- 供职机构：辽宁师范大学物理与电子技术学院更多>>
- 发文基金：大连市科学技术基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 超声喷雾热解法制备AZO薄膜及其光致发光性能研究被引量：10
- 2015年
- 利用超声喷雾热解法以乙酸锌、硝酸铝为Zn、Al源配制前驱体溶液,按不同的Zn、Al原子比(1∶0.02,1∶0.03,1∶0.04,1∶0.05和1∶0.06)在单晶硅(100)衬底上制备出具有较好光致发光性能的ZnO:Al(AZO)薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光谱(PL)表征了样品的晶体结构、表面形貌和光致发光性能.结果表明:所制备样品属于纤锌矿ZnO结构,且择(002)取向生长,薄膜表面比较平整,具有较好的光致发光性能.并且Al掺杂量对AZO薄膜的紫外发射性能有重要影响,随着Al掺杂量的增加,紫外发射峰先蓝移后红移.在Zn、Al原子比为1∶0.04时得到的AZO薄膜结晶质量最好,蓝移量最大,光致发光性能最佳.
- 王玉新阎坤丛彩馨宋勇孙景昌吴齐张兴元
- 关键词：AZO薄膜光致发光谱表面形貌
