王溪
- 作品数：12 被引量：14H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院国防科技创新基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 金属框结构对碲镉汞红外焦平面调制传递函数的影响被引量：3
- 2018年
- 调制传递函数(MTF)值是表征碲镉汞(HgCdTe)红外探测器成像性能的重要参数。串音是减小探测器MTF值的主要因素之一。合理的器件结构设计可有效地抑制串音,从而提高器件MTF值。介绍了一种含金属框结构的HgCdTe红外焦平面探测器,该器件可有效吸收横向扩散光生载流子并减小器件的串音干扰。对含金属框结构的器件和无金属框结构的器件进行MTF测试及对比分析。测试结果表明,与无金属框结构的器件相比,含金属框结构的器件的MTF值得到显著提高。
- 张瞳林春林春陈洪雷孙常鸿林加木
- 关键词：探测器调制传递函数红外焦平面串音
- 用于多级冷屏的光敏元响应率非均匀性校正方法及系统
- 本发明公开一种用于多级冷屏的光敏元响应率非均匀性校正方法及系统，涉及数据处理技术领域。本发明可以对含多级冷屏且窗口和冷屏开孔为任意形状的杜瓦内探测器响应率测试结果进行校正，其中，对窗口面进行网格划分，计算每个窗口面网格单...
- 孙常鸿李辉豪王溪叶振华廖清君丁瑞军何力
- HgCdTe器件中pn结结区扩展的表征方法
- 2017年
- 报道了液氮温度下激光束诱导电流(LBIC)和I-V测试两种在HgCdTe器件中pn结结区扩展的表征方法.通过LBIC和I-V测试,发现了p型HgCdTe材料中由B+离子注入成结和干法刻蚀成结对材料造成的损伤使得有效结区范围大于注入和刻蚀面积,并获得n区横向扩展.同时,通过对比,相互印证两种方法得到的测试结果一致.
- 翁彬周松敏王溪陈奕宇李浩林春
- 关键词：HGCDTE干法刻蚀
- 利用刻蚀工艺制备碲镉汞雪崩光电二极管被引量：2
- 2019年
- 碲镉汞雪崩光电二极管是第三代红外焦平面探测器的主要发展方向之一.提出一种利用离子束刻蚀工艺制备碲镉汞雪崩光电二极管器件的方法,并研究了截止波长、耗尽区厚度与器件增益的关系.利用此方法制备截止波长4. 8μm的中波器件在17 V反向偏置下增益可达1 000.对器件进行了噪声频谱测试,计算了其过剩噪声因子.
- 李浩林春林春周松敏王溪
- 关键词：HGCDTE雪崩光电二极管离子束刻蚀增益
- 碲镉汞雪崩焦平面器件被引量：5
- 2019年
- 碲镉汞雪崩光电二极管以其高增益、高灵敏度和高速探测的优点成为第3代红外光电探测器的重要发展方向之一.制备了截止波长3.56μm的雪崩光电二极管焦平面器件,面阵规模为16×16.焦平面器件在0~6V偏压下有效像元率大于90%,非均匀性小于20%.6 V偏压下NEPh约为60,过剩噪声因子为1.2.
- 李浩林春林春郭慧君周松敏陈洪雷王溪陈洪雷魏彦锋陈路
- 关键词：碲镉汞雪崩光电二极管焦平面
- 通过成结模拟器研究n^(+)-n^(-)-p碲镉汞高温探测器
- 2024年
- 第三代红外探测器发展的一个重要方向是高工作温度探测器。对于碲镉汞n-on-p探测器而言,n^(+)-n^(-)-p结构以及良好的钝化工艺能够有效的抑制暗电流的产生,从而在高工作温度条件下获得较好的探测器性能。基于自行开发的成结模拟器,对n^(+)-n^(-)-p结构地高温器件进行了工艺仿真和器件仿真,获得成结过程的制备参数,并结合抑制表面漏电的组分梯度钝化工艺,将高工作温度下的暗电流抑制至理论极限,研制出可以在更高温度工作下的碲镉汞n-on-p红外焦平面探测器。经测试,中波n-on-p红外焦平面器件在不同工作温度下性能优异,在80 K工作温度下噪声等效温差(NETD)达到了6.1 mK,有效像元率为99.96%;而在150 K工作温度下噪声等效温差(NETD)为11.0 mK,有效像元率为99.50%,达到了同类器件的理论极限。
- 林加木周松敏王溪甘志凯林春丁瑞军
- 关键词：碲镉汞红外焦平面
- 液相外延碲镉汞中砷离子注入与激活表征研究
- 2023年
- As在HgCdTe材料中具有较小的扩散系数,可以形成较为稳定的结构,广泛应用于HgCdTe的p型掺杂。在p-on-n型碲镉汞红外探测器的制备中As掺杂是重要的制备方法。针对在制备过程中存在无法精确测量As激活率的问题,提出采用低温弱p型退火辅助差分霍尔测试的方法,获得了载流子浓度分布,从而通过与SIMS测试结果对比得到长、中波液相外延HgCdTe样品中As的激活率,并分析了退火等工艺对As掺杂后激活率的影响。
- 卢致超林春王溪李珣孙权志
- 关键词：液相外延碲镉汞
- 用于冷光学长波红外杜瓦组件杂散光分析与抑制
- 2023年
- 红外谱段(8~12.5μm)作为红外对地光学载荷的主要探测谱段,在对地遥感领域发挥着重要的作用。以红外成像仪载荷的杜瓦组件为研究对象,宽幅高分辨率红外系统的光机结构作为输入边界,分析了关键面对系统杂散光的影响。为了抑制杂散光和降低背景辐射,利用柔性波纹管隔热实现200 K窗口和窗口帽低温设计。进一步分析了杜瓦组件窗口、窗口外壳、冷屏结构及表面处理工艺等对杜瓦内部杂散光的影响。冷屏采用三级挡板设计,滤光片为三波段集成,同时在考虑装配和加工精度的情况下,冷屏和滤光片支架采用分离方式。卫星红外成像仪载荷在轨运行良好,成像效果较好。为杜瓦设计和加工选择提供了一定依据。
- 朱海勇陈俊林曾智江王小坤李亚冉王溪李雪
- 关键词：红外探测杂散光
- 利用傅里叶变换测量红外焦平面器件响应光谱被引量：1
- 2016年
- 利用傅里叶变换测量光谱的方法具有大通量、高信噪比的优势,在红外测试领域具有重要的应用价值。利用步进扫描和时间分辨的方法,可以同步傅里叶变换红外光谱仪动镜移动和焦平面器件的输出,获得高质量的干涉图,从而计算得到器件的响应光谱。在本系统测量范围400~10000 cm-1内,所得光谱的分辨率可以达到4 cm-1。
- 王溪林春林加木赖嘉毅丁瑞军何力
- 关键词：傅里叶变换红外光谱红外焦平面探测器
- 真空退火的CdTe/Au掺杂HgCdTe界面状态的影响被引量：1
- 2018年
- 对使用CdTe覆盖的HgCdTe材料在不同温度下进行了一系列的退火实验.研究发现,退火可以改善电子束蒸发CdTe的晶体状态,使CdTe和HgCdTe之间的界面状态得到改善.Au掺杂HgCdTe覆盖CdTe后,真空条件下退火,240℃和300℃对Au掺杂的浓度分布改变不大,Au掺杂的浓度几乎不变.但是,温度的不同会对汞空位的浓度产生显著的影响,因此退火温度不同会使载流子浓度明显不同.退火温度从240℃升高至300℃后,霍尔测试得到的载流子浓度从2×10^(16)cm^(-3)左右升高至5.5×1016cm^(-3)左右.
- 王溪王溪周松敏孙常鸿魏彦峰沈灏
- 关键词：退火载流子浓度
