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秦飞

作品数:4 被引量:3H指数:1
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信兵器科学与技术一般工业技术更多>>

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇兵器科学与技...

主题

  • 2篇氧化硅
  • 1篇电路
  • 1篇电子级
  • 1篇信号
  • 1篇英文
  • 1篇直升
  • 1篇直升机
  • 1篇水玻璃
  • 1篇抛光
  • 1篇抛光工艺
  • 1篇前飞
  • 1篇无线
  • 1篇脉冲
  • 1篇命中
  • 1篇磨料
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米氧化硅
  • 1篇宽带
  • 1篇宽带信号
  • 1篇化学机械抛光

机构

  • 4篇中国科学院
  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 4篇秦飞
  • 2篇宋志棠
  • 2篇刘卫丽
  • 1篇潘忠才
  • 1篇胡晓凯
  • 1篇马云飞
  • 1篇侯蕾
  • 1篇张泽芳
  • 1篇张武雄
  • 1篇汪海波
  • 1篇刘金荣
  • 1篇朱菲菲
  • 1篇丁海兰
  • 1篇张磊

传媒

  • 1篇电子测量技术
  • 1篇中国电子科学...

年份

  • 2篇2016
  • 1篇2014
  • 1篇2009
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
基于脉冲频率合成超宽带信号的无线实时定位系统被引量:1
2014年
超宽带信号为代表的无线实时定位系统近年来得到了广泛的发展。现有的超宽带无线实时定位系统由于宽带信号的特性需求,其架构复杂性,成本,及可靠性均居高不下,限制了无线定位系统的广泛应用。在该文提出应用脉冲频率合成超宽带技术的定位系统,通过多个不同载频的窄带脉冲信号的信号处理,达到了等效的超宽带定位效果的同时大幅降低了系统复杂度和成本。解析及仿真结果验证了本文提出方案的有效性,本文所提出的方案对于定位系统的开发具有重要的指导性意义。
朱菲菲马云飞秦飞
关键词:超宽带
水玻璃为原料制备纳米氧化硅磨料及应用于硅片抛光(英文)
化学机械抛光技术广泛应用于集成电路制造平坦化工艺制程。本文中以水玻璃为初始原料,通过硅酸分子间的聚合反应流程,制备了化学机械抛光专用胶体二氧化硅纳米研磨料。通过硅酸的持续加入,氧化硅纳米颗粒的直径增加。采用扫描电子显微镜...
胡晓凯宋志棠汪海波刘卫丽潘忠才秦飞张泽芳张磊
关键词:氧化硅磨料化学机械抛光水玻璃
文献传递
电子级二氧化硅纳米抛光新材料及工业化制备关键技术
宋志棠刘卫丽秦飞孔慧侯蕾李宏亮
该项目属新材料领域。集成电路与LED芯片材料的表面平整度要求极高,通常表面粗糙度需控制在1-3埃,电子级二氧化硅(SiO<,2>)磨料和抛光液是实现其原子级表面的关键材料,核心技术和关键制备工艺完全被国外大公司垄断。在国...
关键词:
关键词:集成电路抛光工艺
直升机前飞投雷命中概率研究被引量:2
2016年
本文基于反潜直升机前飞投放鱼雷对水下目标进行攻击的作战使用方式,建立了直升机前飞投雷参数解算模型和鱼雷发现概率模型,利用蒙特卡罗法对直升机前飞投雷攻击过程进行了模拟仿真,分析了目标初始距离、传感器探测精度、武器投放精度等对鱼雷发现概率的影响,分析结果对反潜直升机作战使用具有一定的参考价值和指导作用。
丁海兰刘金荣秦飞张武雄
共1页<1>
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