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蔡建南

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：福州大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金福建省自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇镀膜
  • 1篇镀膜玻璃
  • 1篇微流控
  • 1篇微流控芯片
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶

机构

  • 1篇福州大学

作者

  • 1篇王宗文
  • 1篇王伟
  • 1篇蔡建南
  • 1篇王伟

传媒

  • 1篇福州大学学报...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于镀膜玻璃微流控芯片制作工艺的研究被引量：1
2011年
开发了一种采用金属膜绿基玻璃作为芯片制作材料,在玻璃上旋涂光刻胶层,制作微流控芯片的工艺.针对光刻胶层不耐刻蚀液腐蚀的特点,优化了涂胶、匀胶、预烘、曝光、显影、坚膜等制作工艺步骤,使得制作工艺具有良好的稳定性.自制玻璃微流控芯片的通道深度可以达到36μm,宽度可以达到150μm,最大有效直线长度可达150 mm,芯片具有优良的性能.工艺的开发节约了实验资源,提高了芯片设计的灵活性和多样性.
王伟王伟王宗文
关键词：微流控芯片光刻胶镀膜玻璃
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共1页<1>
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