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孙丽
作品数:
1
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供职机构:
厦门大学物理与机电工程学院
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发文基金:
国家教育部博士点基金
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
梁明明
厦门大学物理与机电工程学院
张保平
厦门大学物理与机电工程学院
张江勇
厦门大学物理与机电工程学院
翁国恩
厦门大学物理与机电工程学院
陈明
厦门大学物理与机电工程学院
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作者
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张江勇
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张保平
1篇
梁明明
1篇
孙丽
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半导体技术
年份
1篇
2013
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p-GaN退火对InGaN量子阱光学性能的影响
2013年
近年来,N2退火和O2退火均被用于激活p-GaN中的Mg受主以提高p-GaN中的空穴浓度。基于两种退火技术,系统地研究了N2退火和O2退火对LED样品电学性能及光学性能的影响。电流电压特性的测试结果显示,在较低温度(500℃)下O2退火就可以达到与N2高温退火(800℃)相似的电学特性。变温光致发光测试表明,N2高温退火会在InGaN量子阱中形成In团簇,In团簇作为深的势阱增加了对载流子的束缚,能够将载流子更好地局限在势阱中。然而In团簇形成的同时也伴随着大量位错的产生,使其InGaN量子阱中的位错密度大幅度提高,因此室温下N2退火样品的辐射复合效率低于O2退火样品的辐射复合效率。
孙丽
张江勇
陈明
梁明明
翁国恩
张保平
关键词:
热退火
位错密度
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