您的位置： 专家智库 > >

张欣宇

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：广东省计量科学研究院更多>>
发文基金：国家科技支撑计划更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇校准方法
  • 1篇标准器

机构

  • 1篇华南理工大学
  • 1篇广东省计量科...

作者

  • 1篇凌珊
  • 1篇沈小艳
  • 1篇张欣宇

传媒

  • 1篇计测技术

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
扫描电子显微镜校准方法被引量：5
2015年
扫描电子显微镜是纳米几何尺寸测量的一种重要工具。本文对扫描电镜现有的检定规程进行评述,分析了可用的标准器现状及各参数校准的可行性。结合作者在国内已开展的工作对扫描电镜放大倍数误差、放大倍数重复性、XY方向图像线性失真度计量特性的实际校准方法进行了讨论。对扫描电镜国家计量技术规范的修订工作提出了建议。
张欣宇凌珊封小亮沈小艳
关键词：扫描电子显微镜标准器校准方法
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0