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张洋
作品数:
1
被引量:8
H指数:1
供职机构:
香港科技大学
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发文基金:
国家自然科学基金
陕西省教育厅科研计划项目
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
李立珺
西安邮电学院电子工程学院
赵萍
西安邮电学院电子工程学院
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西安邮电学院
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香港科技大学
作者
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赵萍
1篇
李立珺
1篇
张洋
传媒
1篇
现代电子技术
年份
1篇
2011
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二氧化钒薄膜的制备及性能表征
被引量:8
2011年
通过激光脉冲沉积法,分别在C-sapphire和R-sapphire衬底上制备了单相二氧化钒(VO2)薄膜。用X射线衍射法表征了不同实验条件下制备的二氧化钒薄膜的结构性质,分析表明在600℃,10-2torr的氧气分压下,生长15 min可得到单相的二氧化钒(VO2)薄膜;重点研究了激光能量对薄膜电学性质的影响,实验结果表明激光能量在500~600 MJ时制备的二氧化钒薄膜具有最好的电学性质。
赵萍
李立珺
张洋
关键词:
脉冲激光沉积
二氧化钒
X射线衍射
电学性质
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