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温迪

作品数:1 被引量:3H指数:1
供职机构:河北工业大学材料科学与工程学院信息功能材料研究所更多>>
发文基金:天津市自然科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇溅射
  • 1篇溅射功率
  • 1篇ITO薄膜
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度

机构

  • 1篇河北工业大学
  • 1篇河北汉盛光电...

作者

  • 1篇乔治
  • 1篇张雯
  • 1篇温迪

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2013
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
用于HIT太阳能电池的ITO薄膜制备与性能研究被引量:3
2013年
采用中频脉冲磁控溅射工艺制备ITO薄膜,研究了衬底温度和溅射功率对薄膜性能的影响。通过对二者的优化,获得了方阻为2.99Ω/□,电阻率为1.76×10^-4Ω·cm,可见光波段(400—800nm)平均透过率为82.3%的ITO薄膜。将优化后的薄膜用于电池上,制出了转化效率为14.04%的HIT太阳能电池。
温迪雷青松乔治高美伶薛俊明张雯
关键词:ITO薄膜衬底温度溅射功率
共1页<1>
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